对标 INFICON、普发，区分一线工业级、模块 OEM、便携机型，适合真空装备厂选型（如微艾诺这类真空炉整机配套）
代表型号：SFJ‑231（推车整机）、SFJ‑16M（模块 OEM）
*小检漏率：5×10⁻¹³ Pa·m³/s
强项：真空腔体、真空炉整机检漏；支持喷氦、吸枪；模块机型可直接嵌入真空炉机柜做在线检漏；PLC、Profinet、以太网接口齐全，对接设备控制系统；干式泵可选；国内大量真空装备厂配套。
特点：整机、模块两种形态齐全，本土化售后网点多；半导体、新能源、热处理装备大量使用。
短板：超高洁净 Fab 级对比英福康仍有差距；价格是进口的 1/2‑2/3。
代表型号：ZQJ‑3200（台式 / 推车）
*小检漏率：5×10⁻¹³ Pa·m³/s北京中科科...
强项：真空冶金、热处理炉、科研、军工真空设备；耐大气冲击，大漏模式，清氦速度快；双灯丝设计寿命长；接口丰富，支持产线集成；国内很多老真空设备配套。
特点：真空技术底蕴强，工业工况抗污染能力好。
短板：模块式 OEM 机型选择偏少，更多偏向整机。
代表型号：NM 系列推车、NM‑M 模块式
*小检漏率：5×10⁻¹³ Pa・m³/s
强项：新能源、液冷板、真空腔体；模块机型适合设备 OEM 集成；性价比高；产线自动化检漏系统做得多。
特点：供应链背靠 Atlas Copco，部件标准化程度高；国内真空装备厂商大量选用。
型号：RBLD‑802 推车、RBLD‑M02 模块
*小检漏率：5×10⁻¹² Pa・m³/s
强项：通用工业现场检漏、真空炉维修找漏；机器紧凑，价格更低；支持吸枪；适合预算有限的车间、实验室。
短板：**灵敏度、清氦速度弱于皖仪、中科科仪，不适合半导体级高洁净腔体。
型号：HM‑HLD1/2/3，推车 + 便携
*小检漏率：3×10⁻¹³ Pa・m³/s
强项：现场便携检漏、零部件检漏；移动作业，价格优势明显。
短板：大型真空炉腔体长时间连续工作案例偏少，以现场找漏为主。
型号：BW‑930B 推车、LDM‑5000 模块
强项：镀膜设备、普通真空腔体；模块 OEM，成本优势。
短板：高端热处理 / 半导体真空炉应用案例较少。
真空炉整机出厂配套，需要模块嵌入机柜、对接 PLC：皖仪 SFJ‑16M、诺仪 NM‑M，国内真空装备（微艾诺等）新项目主流选型。
车间离线检漏、炉体检漏、焊缝喷氦找漏，工业稳定优先：皖仪 SFJ‑231、中科科仪 ZQJ‑3200。
预算有限，仅做常规漏点排查，不追求半导体级指标：睿宝推车机型。
外出现场维修、上门找漏点：恒美智造便携机型。
表格
| 维度 | 国产头部（皖仪 / 中科科仪） | 进口 INFICON/Pfeiffer |
|---|---|---|
| ***小检漏率 | 5E‑13 Pa·m³/s | 5E‑13~1E‑13 Pa·m³/s |
| 清本底、抗氦残留 | 优秀，长周期高洁净略弱 | 非常优秀，半导体级 |
| 价格 | 进口 1/2‑2/3 | 高 |
| OEM 模块供货 | 成熟 | 成熟，价格高 |
| 售后 | 国内快速上门，备件便宜 | 周期长，备件贵 |
实际工况：普通真空钎焊炉、热处理炉压升率检漏，国产一线完全够用；半导体 AMB 基板等高洁净腔体，还是优先进口。
