适用场景：真空炉腔体压升率检漏、焊缝检漏、零部件钎焊后检漏；分为高端半导体、工业通用、便携吸枪，标注强项、典型型号，方便真空装备选型。
代表型号：UL6000 Fab、UL3000 Fab、Modul1000INFICON
*小检漏率：5×10⁻¹² Pa・m³/s
强项：半导体、高端真空腔体、真空炉整机检漏；响应快、本底清除快，抗氢干扰；干式无油版本多；支持喷氦 + 吸枪；PLC 总线接口丰富，适合集成到真空炉设备上；国内备件、售后网络完善。
定位：高端**，ALD 等进口真空炉原厂标配。
短板：价格高。
代表型号：ASM340、ASM310、ASM192pfeifferva...
*小检漏率：1×10⁻¹³ Pa・m³/s
强项：工业真空、热处理炉、钎焊腔体、科研设备；可配干式 / 油式前级泵；可拆卸控制面板，适合大型腔体远距离检漏；支持 He、³He、氢气检漏；稳定性强，欧洲真空装备大量配套pfeifferva...。
特点：工业耐用性好，性价比在进口品牌中相对友好。
代表型号：Phoenix L300i、L500i
*小检漏率：5×10⁻¹² Pa・m³/s
强项：通用工业真空、热处理、镀膜、科研；推车式整机，操作简单，故障率低；大量老真空炉在用；备件供应链成熟。
短板：半导体 Fab 级高端机型少于英福康。
代表型号：C15（模块式）、VS 系列整机、PHD‑4 便携式吸枪检漏仪
强项：模块式非常适合嵌入设备内部集成（真空炉整机设备内置检漏）；Contra‑Flow 逆流技术抗污染；半导体、真空设备 OEM 集成优势大；便携式吸枪适合现场找漏点。
短板：完整推车式整机选择较少，更多偏向模块与便携。
经典型号：ASM182TD（存量市场非常多）
说明：品牌已并入普发，新机不再出；二手 / 存量设备市场保有量巨大，很多老进口真空炉配套，维修配件普发还可提供。
型号：HELIOT 系列（H200、H300）
强项：日系半导体设备、镀膜机配套；机器紧凑，对工厂供电环境适应性好；亚洲售后响应快。
短板：质谱核心性能略弱于欧美头部，在大腔体真空炉检漏应用少于英福康、普发。
型号：MSE‑2400 系列
强项：日系产线配套，做工稳定；适合电子、新能源零部件检漏。
短板：国内市场占有率偏低，大腔体真空炉用得不多。
新建高端真空炉设备、半导体级腔体，追求快速清本底：INFICON UL6000 Fab
工业批量真空炉、焊缝检漏，追求稳定耐用、综合性价比：Pfeiffer ASM340 / Leybold Phoenix
需要把检漏仪嵌入设备机柜内部做在线检测（OEM 集成）：Agilent C15 模块、INFICON Modul1000
现场维修、找漏点，移动使用：各品牌推车式整机 + 吸枪配件
表格
| 品牌 | 地域 | *适合场景 | 备注 |
|---|---|---|---|
| INFICON 英福康 | 瑞士 | 半导体、高端真空炉腔体 | 性能天花板，价格高 |
| Pfeiffer 普发 | 德国 | 工业真空炉、热处理、科研 | 综合均衡，工业** |
| Leybold 莱宝 | 德国 | 通用工业真空、存量替换 | 耐用，保有量大 |
| Agilent 安捷伦 | 美国 | 设备内部集成 OEM | 模块式优势明显 |
| ULVAC 爱发科 | 日本 | 日系产线配套 | 亚洲售后方便 |
